特种(zhǒng )气体替代是(shì )半(bàn )导体制造业特(tè )有的减排杠杆。目前(qián )芯(xīn )片生产中普遍使用的全氟化碳等气(qì )体,其温(wēn )室效应是二(èr )氧化碳的数千倍(bèi )。英特尔发起了一项跨(kuà )行业的(de )研发倡议,目(mù )标是(shì )寻找全球变暖效应更低且更环保(bǎo )的化学品,并开发新的减排设备。理想(xiǎng )情(qíng )况下,半导体产业(yè )应(yīng )当建立类似蒙特利尔(ěr )议定书的多边机(jī )制,共同淘汰高GWP气体的使用。
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