上游设(shè )备与材料供(gòng )应(yīng )商同样(yàng )负有重要责任。Applied Materials、ASML、东京电子等半导体设备巨头提供的生产工具决(jué )定了制(zhì )造工艺的能效上限(xiàn ),但推动绿色(sè )制(zhì )造技(jì )术方面的创新明显不足。例如,化学材料供(gòng )应商Solvay SA虽已(yǐ )开(kāi )发出(chū )一些污染化(huà )学品的替代品,但全氟化(huà )碳等强效温室气(qì )体仍然在半(bàn )导体制造中广泛使用。
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